殘余氣體分析儀應用于高溫真空爐, 實現質量保證和過程優化

時間：2023-04-12作者：伯東企業（上海）有限公司瀏覽：103

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  詞條說明

• 上海伯東美國 HVA 真空插板閥在半導體管道中的應用

  半導體后端工藝制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊氣體,氣體管路系統(真空管路)的作用是把各種氣體在滿足工藝制程要求的純度, 壓力和流量的前提下穩定的供應到工藝設備內. 上海伯東美國 HVA?插板閥廣泛用于高真空或高真空的氣體輸送環節,?用來改變氣流方向,?調節氣流量大小,?切斷或接通管路,?起到真空隔離密封等作用. 美國 HVA&nb

• 氦質譜檢漏儀高溫真空燒結爐氣密性泄露檢測

  氦質譜檢漏儀高溫真空燒結爐氣密性泄露檢測某客戶生產汽車過濾網, 因高溫真空燒結爐氣密性不佳, 導致生產出的過濾網材料出現氧化質量問題, 經過上海伯東推薦, 選用氦質譜檢漏儀?ASM 340W 對真空燒結爐進行檢漏, 真空模式下, 漏率 5X10-10?mar l/s. 經過檢漏后的真空爐, 生產出的過濾網材料無氧化, 達到客戶工藝要求.高溫真空燒結爐氦質譜檢漏法:金屬 (粉末)

• KRi 射頻離子源 IBSD離子束濺射沉積應用

  上海伯東美國?KRi 考夫曼 RF 射頻離子源, 燈絲提供高能量, 低濃度的寬束離子束, 離子束轟擊濺射目標, 濺射的原子(分子)沉積在襯底上形成薄膜, IBSD 離子束濺射沉積 和 ?IBD 離子束沉積是其典型的應用.KRi?離子源在 IBSD 離子束濺射沉積應用通常安裝兩個離子源主要濺射沉積源和二次預清潔 / 離子輔助源一次氣源為惰性氣體, 二次氣源為惰性或反應性

• 氦質譜檢漏儀真空鍍膜配氣面板檢漏

  氦質譜檢漏儀 ASM 340?真空鍍膜配氣面板檢漏上海伯東某客戶生產高純度特種氣體不銹鋼減壓閥門, 接頭, 管件, 這些配件主要用于集成在真空鍍膜配氣面板, 實現工藝氣體的傳輸. 為了防止氣體外泄, 除了閥門, 接頭, 管件需要單檢漏外, 整個配氣面板也需要測試整體漏率, 使用上海伯東德國 Pfeiffer?氦質譜檢漏儀 ASM 340, 真空模式下, 漏率設置為 5.5x