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時間：2020-03-06作者：沈陽鵬程真空技術有限責任公司瀏覽：85

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  小型自動磁控濺射儀 沈陽鵬程真空技術有限責任公司——專業磁控濺射產品供應商，我們為您帶來以下信息。 1. 濺射室極限真空度：≤6.6×10-6 Pa 2. 系統真空檢漏漏率：≤5.0×10-7Pa.l/S 3. 系統從大氣開始抽氣：濺射室30分鐘可達到6.6×10-4 Pa； 4. 系統停泵關機12小時后真空度：≤5Pa 5. 濺射真空室1套，立式上開蓋結構，尺寸不小于Ф300mm×300mm，